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对SiGe／Si异质pn结的反向C—V特性从理论和实验上进行了研究．建立了SiGe／Si异质pn结的反向C—V特性灰色系统GM(1．1)模型．模型与实验数据符合良好．精确度较高．
SiGe／Si异质pn结的反向C—V特性研究
【摘 要】
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对SiGe／Si异质pn结的反向C—V特性从理论和实验上进行了研究．建立了SiGe／Si异质pn结的反向C—V特性灰色系统GM(1．1)模型．模型与实验数据符合良好．精确度较高．
【机 构】
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南宁地区教育学院物理系
【出 处】
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广西民族学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2004年4期
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