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介绍了用化学气相法沉积大面积SnO2透明电膜的原理和方法。通过沉积器具有工艺的改进，提高了大面积SnO2膜方块电阻和光透过率的均匀性。讨论了SnO2膜均匀性对非晶硅太阳电池的影响。
非晶硅太阳电池生产中沉积SnO_2膜的均匀性
【摘 要】
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介绍了用化学气相法沉积大面积SnO2透明电膜的原理和方法。通过沉积器具有工艺的改进，提高了大面积SnO2膜方块电阻和光透过率的均匀性。讨论了SnO2膜均匀性对非晶硅太阳电池的
【机 构】
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哈尔滨－克罗拉太阳能电力公司
【出 处】
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能源工程
【发表日期】
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2001年3期
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