【摘 要】
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介绍了基于光学三角测量原理而研制的新型非接触电一光传感器。这种传感器对抛光平面位移显示了最大的灵敏度,其分辨率达到了0.01微米。它对弯曲和粗糙表面的位移灵敏度也很
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介绍了基于光学三角测量原理而研制的新型非接触电一光传感器。这种传感器对抛光平面位移显示了最大的灵敏度,其分辨率达到了0.01微米。它对弯曲和粗糙表面的位移灵敏度也很好。文中所叙述的实验装置提供了±75微米的线性范围,如果需要,通过改变传感器的光学参数,还可将这个范围扩大。
A new non-contact electro-optical sensor based on the principle of optical triangulation is introduced. This sensor shows the greatest sensitivity to the polished plane displacement with a resolution of 0.01 microns. It is also sensitive to displacement of curved and rough surfaces. The experimental setup described in the article provides a linear range of ± 75 microns and this range can be extended if desired by changing the optical parameters of the sensor.
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