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综述了国内外砷化镓表面硫钝化技术的研究现状和发展趋势，并对其钝化机理及钝化方法等进行了介绍。同时还提出了对今后发展砷化镓表面硫钝化技术的初步看法。
砷化镓表面硫钝化技术的研究进展
【摘 要】
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综述了国内外砷化镓表面硫钝化技术的研究现状和发展趋势，并对其钝化机理及钝化方法等进行了介绍。同时还提出了对今后发展砷化镓表面硫钝化技术的初步看法。
【机 构】
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电子四十六所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1999年6期
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