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针对行波超声波电机（TRUSM）的启动特性、运行特性、调速特性和步进特性进行了深入研究，探讨了负载对TRUSM微步控制的影响并揭示了其中规律，提出了微步控制的改进方法。该方法在电机特性实验研究基础上，通过最小二乘法拟合出的经验公式对电机步距角的偏差进行修正，实现了行波超声波电机带负载时的等步距运行。所给出的方法和结论，为行波超声波电机开环精密定位控制的进一步推广打下坚实的基础。