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采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置，使成本极大地下降。采用锁相环电路可将系统频响从1Hz提高到1kHz，通过对光栅试件的检测，证明本种检测方法是可行的。同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针，可实现STM、AFM、MFM和EFM的测量，构成一机多能系统。
一种低廉快速的多功能扫描探针显微镜的研究
【摘 要】
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采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置，使成本极大地下降。采用锁相环电路可将系统频响从1Hz提高到1kHz，通过对光栅试件的检测，证明本种检测方
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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武汉汽车工业大学学报
【发表日期】
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2000年6期
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研基金资助项目! (970 4870 7)
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