微石英晶振相关论文
该文系统地研究了微石英晶振的多功能扫描探针显微技术.其主要研究成果如下:采用微石英晶振作为微力传感器来取代传统的微悬臂和光......
该文探讨了面向微系统(MEMS)的微检测技术,内容分为两部分:一是基于微晶振的静电力显微测量技术;二是针对微小样品的热-机疲劳测试......
描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜(EFM).利用谐振频率为32.768 kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器,它在逼近......
采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置，使成本极大地下降。采用锁相环电路可将系统频响从1Hz提高......
