电子激发脱附机理研究

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电子碰撞吸附表面引起离子和中性粒子(指原子或分子)脱附的现象,简称为ESD。在ESD的研究中,搞清电子为什么能引起脱附是极为重要的。目前主要提出了四个彼此独立的模型,其中三个用于解释正离子和中性粒子,一个用于解释负离子和中性粒子。本文将在讨论这些模型的基础上,建立一个新的统一模型。 Electron collision adsorption surface causes ions and neutral particles (refers to atoms or molecules) desorption phenomenon, referred to as ESD. In the study of ESD, it is very important to find out why electrons can cause desorption. At present, four independent models are proposed. Three of them are used to explain positive ions and neutral particles, and one is used to explain negative ions and neutral particles. This article will discuss these models based on the establishment of a new unified model.
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