【摘 要】
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日本 Kiens 开发了能有效测超细线和微米级单位间隙的超小型激光外径测量器“LS—3032”,由于采用了半导体激光和Kiens 光学方式,所以体积小,可装在任意位置。具有以下特征
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日本 Kiens 开发了能有效测超细线和微米级单位间隙的超小型激光外径测量器“LS—3032”,由于采用了半导体激光和Kiens 光学方式,所以体积小,可装在任意位置。具有以下特征、(1)分辨率为0.1μm,重复精度±0.3μm,保证测量精度达到亚微米级。(2)投光部和受光部分开,可装在任意位置。
Japan Kiens has developed the LS-3032, an ultra-small laser outside diameter measuring instrument that can effectively measure the clearance between ultra-fine lines and micrometer units. Due to its semiconductor laser and Kiens optical method, Kiens is compact and can be mounted anywhere. Has the following characteristics, (1) a resolution of 0.1μm, repeatability ± 0.3μm, to ensure measurement accuracy sub-micron level. (2) light projection and light part of the open, can be installed in any location.
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