【摘 要】
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国外在发展半导体工业中,充分把握住技术革新快、设备耐用年数短的典型设备工业这一特点,非常及时的重视工艺设备的更新换代。从六十年代初、中期至今已经历了五代:
Abroad
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国外在发展半导体工业中,充分把握住技术革新快、设备耐用年数短的典型设备工业这一特点,非常及时的重视工艺设备的更新换代。从六十年代初、中期至今已经历了五代:
Abroad in the development of semiconductor industry, fully grasp the rapid technological innovation, short service life of the typical equipment industry this feature, very timely attention to process equipment replacement. From the early sixties, the metaphase has gone through five generations:
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