【摘 要】
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对超薄硅片制备工艺机理进行了优化研究。利用胶粘键合工艺在基片上固定保护硅片，提高了硅片承受工艺加工的机械性能。再结合化学机械抛光工艺，对比不同粘合剂的制备效果和不同压力制备的超薄硅表面粗糙度的变化，成功制备出厚度10μm左右的超薄硅片。表面形貌表征结果显示，硅片总厚度偏差为约0.5μm，平均粗糙度值为0.5 nm，这表明使用化学机械研磨抛光的工艺方法，优化减薄条件下，可保证硅片表面情况。研究结果将
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11874091）； 吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目（JJKH20200733KJ）；
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对超薄硅片制备工艺机理进行了优化研究。利用胶粘键合工艺在基片上固定保护硅片，提高了硅片承受工艺加工的机械性能。再结合化学机械抛光工艺，对比不同粘合剂的制备效果和不同压力制备的超薄硅表面粗糙度的变化，成功制备出厚度10μm左右的超薄硅片。表面形貌表征结果显示，硅片总厚度偏差为约0.5μm，平均粗糙度值为0.5 nm，这表明使用化学机械研磨抛光的工艺方法，优化减薄条件下，可保证硅片表面情况。研究结果将为硅半导体器件的微型化发展和性能提升提供了工艺指导。
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