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提出了一种新的可靠的晶圆级1／f噪声测量方法和架构。测试架构采用了吉时利的一系列仪器，包括4200．SCS、428和一个低通滤波器，并且采用了吉时利的自动特征分析套件（ACS）软件来控制测量仪器的操作，采集／分析测得的数据。由于所用的低通滤波器能够消除所有高于0．5Hz的噪声，因此大大提高了1／f噪声的测量精度。利用这一测量架构能够在各种偏压条件下评测具有不同尺寸的nMOS和pMOS器件的1／f噪声特征。