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在一定偏压下用ＡｌＣｌ３＋Ｃ２Ｈ５ＯＨ＋Ｈ２Ｏ混合液对多孔硅进行了后处理。经过自理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比，其发光强且稳定。通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析，指出在后处理样品表面形成的Ａｌ２Ｏ３与ＳｉＯｘ结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因。
经Al2O与SiOx钝化的多孔硅及其光致发光特性
【摘 要】
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在一定偏压下用ＡｌＣｌ３＋Ｃ２Ｈ５ＯＨ＋Ｈ２Ｏ混合液对多孔硅进行了后处理。经过自理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比，其发光强且稳定。通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析，指出在后处理样品表面形成的Ａｌ２Ｏ３与
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金!（19525410）
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