【摘 要】
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经历了50多年的创业，中国的微电子工业获得巨大发展，相关从业人员得到培训和锻炼，为继续提高质量、补全短板创建了基础。降低能耗、提高能效是发展微电子工业的重要方面。本文从合理确定洁净室设计参数方面漫谈了些许经验；就合理降低洁净室的送风量，创建局部净化等洁净微环境以缩减高洁净要求的面积，改善局部排风效果、减少空气渗漏，以及合理确定洁净室内的温湿度参数等问题提出了一些建议。
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经历了50多年的创业，中国的微电子工业获得巨大发展，相关从业人员得到培训和锻炼，为继续提高质量、补全短板创建了基础。降低能耗、提高能效是发展微电子工业的重要方面。本文从合理确定洁净室设计参数方面漫谈了些许经验；就合理降低洁净室的送风量，创建局部净化等洁净微环境以缩减高洁净要求的面积，改善局部排风效果、减少空气渗漏，以及合理确定洁净室内的温湿度参数等问题提出了一些建议。
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