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利用基于原子力显微镜的悬臂梁弯曲法,对二维黑磷晶体两个特殊晶轴方向的弹性模量进行测量.通过有限元仿真对悬臂梁结构建模计算,分析了影响测量结果精度的因素:悬臂梁弯曲变形量-厚度比、悬臂梁的长宽比和黑磷晶体弹性模量各向异性.结果表明,悬臂梁长宽比相对于变形量-厚度比、弹性模量各向异性,对测量结果影响更大,其最大相对误差达-40%,.通过有限元仿真分析,可以修正悬臂梁弯曲法力学模型中误差,从而得到更准确的测量结果.