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在系统细致分析RTD材料结构参数与器件特性参数关系的基础上,确立了RTD材料结构的设计原则和设计方法,并对以SI-GaAs为衬底的RTD分子束外延(MBE)材料生长结构进行了设计.所研制出的RTD参数实测结果证实了此设计方法是正确的.
共振隧穿二极管的材料结构设计——共振隧穿器件讲座(5)
【摘 要】
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在系统细致分析RTD材料结构参数与器件特性参数关系的基础上,确立了RTD材料结构的设计原则和设计方法,并对以SI-GaAs为衬底的RTD分子束外延(MBE)材料生长结构进行了设计.所研
【机 构】
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天津工业大学,信息与通讯工程学院,天津,300160;专用集成电路国家级重点实验室,石家庄,050051;天津大学,电子信息工程学院,天津,300072
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年8期
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