高频高精度石英晶体元件电参数测量技术研究

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在介绍π网络法石英晶体元件电参数测量原理的基础上,设计了一种频率高达200MHz的石英晶体元件电参数测量系统,分析了石英晶体元件和π网络的等效电路,采用自动网络分析方法计算出石英晶体元件的阻抗,并依次消除了系统误差和测量误差。实验证明,在1~200MHz频率范围内,系统对串联谐振频率测量误差在±1×10^-4以内,重复测量一致性在±0.5×10^6以内。
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