【摘 要】
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一、引言由于近来精密机械技术的发展,具有微图形的商品和零件明显地增加。目前对微图形的测量,采用的是:1.触针式表面粗糙度测量仪。2.双光束干涉显微镜。3.扫描电子显微镜
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一、引言由于近来精密机械技术的发展,具有微图形的商品和零件明显地增加。目前对微图形的测量,采用的是:1.触针式表面粗糙度测量仪。2.双光束干涉显微镜。3.扫描电子显微镜(SEM)。每种仪器都各有优缺点,需视样品的情况进行选择。考虑到这些优缺点,我们在本文中将介绍一种带有激光干涉仪的非接触
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