【摘 要】
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为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能,采用基于排队论的方法构建了性能分析模型.在建模过程中,为了使搬运路径多样化,引入了带外环和
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为了快速、有效地评价基于晶圆优先级的连续型Interbay自动物料搬运系统的性能,采用基于排队论的方法构建了性能分析模型.在建模过程中,为了使搬运路径多样化,引入了带外环和捷径的脊背式搬运系统.通过控制晶圆进入外环与捷径的优先级,实现了较高优先级的晶圆能快到达目的地.考虑服务时间变动性,引用相关满足系统排队实际的排队模型,构建系统期望在制品的数学表达.在相同的实验条件下,通过分析性能分析模型与Arena仿真模型得到的系统在制品量,验证本文提出的性能分析模型的准确性.实验结果表明,任何情形下的绝对误差都控制在5%以下,性能分析模型完全能满足系统性能评价的要求.
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