脉冲激光沉积法制备β-BBO薄膜

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采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺Sr^2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜。采用X射线粉末衍射(XRD)、高分辨X射线衍射仪(XRC)对薄膜进行分析测试,结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(001)面,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000"左方无显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190nm,但薄膜的透过率略有下降。采用调Q脉冲Nd:YAG激光器观察了β-BBO薄膜的倍频效应。
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