【摘 要】
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该文在单晶硅基底上设计了AlN/PZT复合压电薄膜层声表面波（SAW）器件，采用有限元法（FEM）研究了复合压电材料厚度(PZT厚度hPZT和AlN厚度hAlN)对AlN/IDT/PZT/Si结构中零阶、一阶SAW的相速度、机电耦合系数和电极反射系数的影响，根据色散特性得到最优化薄膜厚度。结果表明，AlN/IDT/PZT/Si结构中，当hPZT =0.025λ,hAlN=λ时，零阶、一阶SAW都能
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（No.52174151,No.11974275,No.61834005）； 陕西省联合基金重点资助项目（2021JML-05）； 陕西省重点科技创新团队基金资助项目（2019TD-026）； 陕西省科技统筹创新工程计划基金资助项目（2012KTCL01-12）
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该文在单晶硅基底上设计了AlN/PZT复合压电薄膜层声表面波（SAW）器件，采用有限元法（FEM）研究了复合压电材料厚度(PZT厚度hPZT和AlN厚度hAlN)对AlN/IDT/PZT/Si结构中零阶、一阶SAW的相速度、机电耦合系数和电极反射系数的影响，根据色散特性得到最优化薄膜厚度。结果表明，AlN/IDT/PZT/Si结构中，当hPZT =0.025λ,hAlN=λ时，零阶、一阶SAW都能取得最高相速度（分别为5 582 m/s和5 711 m/s）,适用于高频器件设计；在hPZT=0.2λ,hAlN=0.1λ时，零阶SAW波的机电耦合系数最大（为21.55%）,但此时相速度最小（仅为2 890 m/s）,适用于移动通信领域宽带低损耗SAW滤波器和延迟线结构信号处理器件的设计。
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