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GaAs中碳的补偿率对红外吸收方法测定其浓度的影响
GaAs中碳的补偿率对红外吸收方法测定其浓度的影响
来源 :河北工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stefanie456
【摘 要】
:
通过直接测量GaAs中碳(C)的局域振动模(LVM)红外吸收带随其荷电态的变化,研究了GaAs中碳的LVM红外吸收与其荷电态的关系。结果表明,该吸收带对C的荷电态是不敏感的,红外吸收
【作 者】
:
杨瑞霞
李光平
【机 构】
:
河北工学院电子工程系,天津电子材料研究所
【出 处】
:
河北工学院学报
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
碳
补偿率
浓度
砷化镓
红外吸收法
Local vibrational mode(LVM)Charge stateGaAsCarbonInfrared abs
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通过直接测量GaAs中碳(C)的局域振动模(LVM)红外吸收带随其荷电态的变化,研究了GaAs中碳的LVM红外吸收与其荷电态的关系。结果表明,该吸收带对C的荷电态是不敏感的,红外吸收测定GaAs中碳浓度的方法对不同C补偿率的样品都是适用的。
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