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用磁控射频反应溅射制备了含纳米硅微粒的富硅ＳｉＯ２薄膜并获得蓝色的交流薄膜电致发光，通过热退火结合喇曼散射等手段判定蓝色发光谱带与富硅ＳｉＯ２薄膜的纳米硅晶粒有关。
含纳米硅微粒的富硅二氧化硅的蓝色薄膜交流电致发光
【摘 要】
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用磁控射频反应溅射制备了含纳米硅微粒的富硅ＳｉＯ２薄膜并获得蓝色的交流薄膜电致发光，通过热退火结合喇曼散射等手段判定蓝色发光谱带与富硅ＳｉＯ２薄膜的纳米硅晶粒有关。
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所,中国科学院激发态物理开放研究实验室
【出 处】
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发光学报
【发表日期】
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1998年3期
【基金项目】
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国家高技术新材料委员会资助
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