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采用溶液沉积法,即将前驱体溶液加至基体表面,该前驱体至少由第一金属氧化物、第一金属氢氧化物或二者的混合物组成[如ZnO、Zn（OH）2、NiO、Ni（OH）2、CuO、Cu（OH）2等]。在100-600℃下加热,蒸发后前驱体溶液在基体上形成含有上述金属氧化物或金属氢氧化物的固态晶体层,层厚度为2-20 nm。