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本文采用基片可旋转并利用红外灯管加热基片多靶磁控溅射台的制备了不同成分及基片温度的Ａｇ－ＳｉＯ２复合薄膜。
Ag—SiO2纳米复合薄膜微结构研究
【摘 要】
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本文采用基片可旋转并利用红外灯管加热基片多靶磁控溅射台的制备了不同成分及基片温度的Ａｇ－ＳｉＯ２复合薄膜。
【机 构】
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上海交通大学金属基复合材料固定重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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华东分析测试中心检测基金
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