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本文采用脉冲激光沉积法（PLD）制备了ITO导电薄膜，并对其形貌、光学性质和电学性质进行了研究。结果表明，使用PLD方法制备的ITO导电薄膜在可见光区的平均透光率约为80％，方块电阻在100—200Ω／□之间。当衬底温度控制在300℃，氧压控制在1．33Pa时，可以得到具有较高透光率和电导率的ITO导电薄膜。