Nb10Zr靶材制备工艺研究

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研究了Nb10Zr铸锭预处理、锻造、轧制、热处理等工艺及Nb10Zr靶材的制备工艺。结果表明,1450℃保温90 min的铸锭预处理,可以改善锻造塑性;1 300℃径向圆周锻造、1 000℃轧制及1 200-1 450℃热处理,可以避免锻造和轧制开裂,晶粒度达到8级且组织均匀。
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