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SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,已经越来越广泛地应用于多晶硅太阳电池的制造工艺中.介绍了SiN薄膜在硅太阳电池中的性质,制备方法等研究现状,同时提出了存在的问题并展望了今后的发展趋势.
多晶硅太阳电池用SiN薄膜的研究进展
【摘 要】
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SiN薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,已经越来越广泛地应用于多晶硅太阳电池的制造工艺中.介绍了SiN薄膜在硅太阳电池中的性质,制备方法等研究现状,同时提出了存在的
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2002年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目
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