一种有效监控制版图形尺寸的方法

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在绘制原图时于靠近划片槽位置外加一组四条等间距的小条,其中条宽和间距同为该套版最小线宽(我们曾取5μ或10μ两种),条长为100μ或150μ.由于在版图上增加了这一组监控图形,因此在每次工序后于版图上就留下了这组监控图形.在制版中只要控制好初缩时的缩小倍率,通过显微镜监控小条与间距宽度之比,就可以很快发现图形尺寸是扩大了,还是缩小了.对正阳版来说,前者表 When drawing the original image, a group of four equally-spaced strips near the scribing groove position are used. The width and spacing of the strips are the same as the minimum width of the plate (we have taken 5μ or 10μ), the length is 100μ or 150μ. As the increase in the territory of this group of monitoring graphics, so after each process in the layout on the left of this group of monitoring graphics. As long as the plate in the control of the initial reduction of the reduction ratio, the microscope monitor the strip And the ratio of the width of the pitch, you can quickly find the graphics size is expanded, or reduced. For positive version, the former table
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