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围绕生产电子级多晶硅关键工艺控制各环节,研究了如何生产出高品质电子级多晶硅产品。
电子级多晶硅生产关键工艺控制
【摘 要】
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围绕生产电子级多晶硅关键工艺控制各环节,研究了如何生产出高品质电子级多晶硅产品。
【机 构】
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昆明冶金研究院,云南省选冶新技术重点实验室,云南冶金云芯硅材股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
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云南冶金
【发表日期】
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2019年4期
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