用等离子体源离子注入法提高金属表面耐蚀性

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对等离子体源离子注入和常规离子注入进行了对比,介绍了等离子体源离子注入在提高金属表面硬度和抗腐蚀性能上的应用,讨论了电子回旋共振等离子体源离子注入在提高表面腐蚀抗力中的前景。 The plasma source ion implantation and conventional ion implantation are compared. The application of plasma source ion implantation to improve the surface hardness and corrosion resistance of the metal is introduced. The effects of electron cyclotron resonance plasma source ion implantation on improving the surface corrosion resistance Prospects.
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