【摘 要】
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介绍了对ＳｉＧｅ／Ｓｉ材料干法、湿法腐蚀的机理、腐蚀方法、影响腐蚀的主要因素，以及其在制造异质结晶体管中的应用
The mechanism of dry and wet etching of SiGe / Si material, the
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介绍了对ＳｉＧｅ／Ｓｉ材料干法、湿法腐蚀的机理、腐蚀方法、影响腐蚀的主要因素，以及其在制造异质结晶体管中的应用
The mechanism of dry and wet etching of SiGe / Si material, the corrosion method, the main factors affecting the corrosion, and its application in the fabrication of heterojunction transistors
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