纳米结构在微纳传感器应用中的介电泳操控研究

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiertimer
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要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器等电学系统中,首先要解决的问题是材料的定位操作问题。介电泳技术是一种很有潜力的纳米操控技术。在自行设计的几种电极的基础上,采用介电泳技术对微纳米材料进行操控,可以实现微纳米材料沿电场方向的排布和电极间的跨接.初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性,结果表明介电泳技术可以很好地实现纳米材料在传感器领域中的应用。
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