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本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法，给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法（下降法）计算得到的膜厚结果，并与台阶仪测试结果进行了比较。
纳米厚度非透明介质薄膜的测量
【摘 要】
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本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法，给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法（下降法）计算得到的膜厚结果，并与台阶仪测试结果进行了比较。
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1994年1期
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