论文部分内容阅读
在0.1μm级的Si-CMOS器件及其集成电路中,作为替代传统SiO2栅介质的首选材料,超薄SiOxNy膜已被广泛研究和应用.本文介绍了近几年SiOxNy栅介质制备技术的研究进展,讨论了各种方法的优缺点,并展望了SiOxNy栅介质制备技术的未来发展趋势.
超薄层SiOxNy栅介质薄膜的制备与研究进展
【摘 要】
：
在0.1μm级的Si-CMOS器件及其集成电路中,作为替代传统SiO2栅介质的首选材料,超薄SiOxNy膜已被广泛研究和应用.本文介绍了近几年SiOxNy栅介质制备技术的研究进展,讨论了各种
【机 构】
：
河北大学
【出 处】
：
河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
：
2005年6期
其他文献
综述了近十年来在精密控温方面采用的两种典型控制方式：PID控制、模糊控制，以及基于这两者演化结合的方式．通过对其各自基本原理、应用前景的比较，得出了各种温控方式的优缺点，并
神华集团露天煤矿应用国际先进的生产设备进行煤炭综合开采，对提高煤炭生产效率发挥了重要作用，煤炭开采作业关键设备战略备件的配套供应、采购与储备，成为保障安全生产的重要环
“银峰”牌铁塔是河北省邮电器材机械厂的主打产品.这个位于河北省保定市、成立于1968年的老国企，与运营企业一道，经历着通信市场的风风雨雨.令人欣慰的是，这个背负历史包袱的企
本刊讯 12月9日，中国煤炭学会成立50周年大会暨高层学术论坛在京召开，神华集团总经理张玉卓参加会议并作了题为《中国煤基清洁能源发展展望》的专题报告。中国煤炭学会历经50年
目的探讨快速康复外科（FTS）理念在腹腔镜结直肠癌手术患者中的应用效果。方法将收治的64例腹腔镜下行结直肠癌根治术患者分为FTS组和对照组,每组32例。观察两组患者术后下床时
本文报道了变态反应性疾病77例的血小板相的观察,并进行血小板形态分类比较。现将结果报道如下。 健康组:为经过健康体验的本院学生及本院职工,共172例,其中男101例,女71例,
为了有效降低电站锅炉电除尘器的电耗和烟尘排放，应用合同能源管理分别对2台机组的电除尘电源进行了高频电源改造和工频电源控制优化。经过测试，两种改造方案均可以大幅度降低
通过对计算机免疫系统及入侵检测方法的探讨,提出了一种基于用户行为的非我(Non-self)集的构造和演化方法,采用数据挖掘的思想并提出了相应的算法,本系统可以发现入侵并可实