锆、钒离子注入铝形成金属间化合物

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fredric_cn

【摘要】

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利用金属蒸气真空弧离子源,将大束流Zr和V离子注入到Al中,在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Zr,Al10V和Al3V.当Zr离子束流密度为64 μA/cm2,剂量为5×1017 ions

【作者】

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苗伟陶琨李彬柳百新

【机构】

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清华大学材料科学与工程系

【出处】

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真空科学与技术

【发表日期】

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2001年4期

【关键词】

：

金属间化合物离子注入力学性能铝表面改性锆离子钒离子 AluminumIntermetallicsMechanical propertiesVanad

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利用金属蒸气真空弧离子源,将大束流Zr和V离子注入到Al中,在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Zr,Al10V和Al3V.当Zr离子束流密度为64 μA/cm2,剂量为5×1017 ions/cm2时,在Al表面形成了稳定相DO23-Al3Zr和亚稳相L12-Al3Zr.当V离子束流密度为51 μA/cm2,剂量为3×1017 ions/cm2时,在Al表面形成了Al10V和Al3V.Zr和V离子注入到Al中使Al表面的硬度和弹性模量明显提高.

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