【摘 要】
：
主动隔振技术比被动隔振技术能够获得更大的隔振带宽及更小的振动传递率,主动隔振器广泛用于IC制造设备和高精密测量设备,其隔振性能直接影响到这些设备的加工或测量精度。速
【机 构】
：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
论文部分内容阅读
主动隔振技术比被动隔振技术能够获得更大的隔振带宽及更小的振动传递率,主动隔振器广泛用于IC制造设备和高精密测量设备,其隔振性能直接影响到这些设备的加工或测量精度。速度传感器是主动隔振系统的重要组成部分,影响振动主动控制的精度和带宽。为了实现速度传感器的低频测振功能,采取速度传感器信号调理技术对低频进行拓展,基于滞后校正原理及其幅频特性,设计了速度传感器信号调理器,通过理论计算及仿真分析,有效实现了速度传感器的低频扩展。为超精密主动隔振系统提供了确实可行的速度传感器信号调理解决方案。
其他文献
目的：探讨ＳＣＣ－Ａｇ对肺鳞癌化疗效果的临床价值。方法：通过对１０２例肺鳞、腺癌ＳＣＣ－Ａｇ的含量测定，观察肺癌化疗前后ＳＣＣ－Ａｇ的含量变化。结果：肺鳞癌与肺腺癌化疗前ＳＣＣ－Ａｇ差异有显著性（Ｐ＜０．０５），肺鳞癌ＳＣＣ－Ａｇ化疗前后差异有显著性（Ｐ＜０．０５）。
分析了金刚石多线切割机的排线原理,介绍了一种基于电子凸轮技术的多线切割机排线方法,该方法已在设备上进行了验证。探讨了该设计方法的通用性,并为其他线切割设备借鉴。
我国新一代远洋综合科考船“科学”号对西太平洋卡罗琳海山进行考察时，发现了一些非常罕见的深海生物。这些深海“稀客”长什么样呢？有些什么特点？ “深海小飞象”憨态可掬，两个鳍如大象的两个耳朵在水中摇曳，非常萌。 它们是一种特殊的章鱼——烟灰蛸属章鱼，广泛分布于温带、热带和寒带海域的大陆架，生活水深在100米至7000米之间。 章鱼被认为是现存的无脊椎动物中最聪明的。作为章鱼家族中的一员，“深海小
【摘要】通过长时间的研究与实践，我们发现，通过矫正书写确实可以达到一定的矫正个性心理的作用。但是，这需要付出大量的时间和辛勤的汗水。 【关键词】练字；心理矫正；个性 【中图分类号】G633 【文献标识码】A 在我国，对汉字笔迹与书写者个性心理关系的研究是源远
夕阳照在孩子们健康、裸露的肌肤上,他们正一个接一个从木台上跃入水中。看不清一共有几个人,因为最先入水的,已经在湖面上炸出一朵巨大的水花,溅起的水珠形成了白色的帘幕,
刀可以帮忙断案，你信吗？ 传说从前一个部落丢了一件宝贵的东西，为了找到盗窃犯，部落首领把有嫌疑的人都叫来，对他们说：“神知道谁是罪犯。来人，把神刀拿来，请神刀破案。”只见一个汉子应了一声，便从火炉中夹出一把烧得通红的大刀，把它架在人们面前。 首领厉声喝道：“你们每个人都用舌头舐一下神刀！神刀只惩罚罪犯，决不会烫伤好人！” 第一个人没有偷东西，深信神刀不会烫伤自己，便坦然地走上前，毫不害怕地伸
施工导流标准是水电建设中涉及工期及造价的关键问题.本文提出用费用及工期两个目标来联合确定导流建筑物的设计标准,并给出了确定型施工费用及工期和风险损失费用及工期的计
【摘要】本文从教师、学生、考生三个角度，从“教、练、备”三个方面，深层次地剖析了高中作文教学，值得借鉴和参考。 【关键词】方法；下水；练习；准备 【中图分类号】G633.34 【文献标识码】A 一年一度的高考作文总是备受人们关注，高级中学的作文教学自然也就成了语文教学