在Ga-PCl_3-H_2系统中Ga的气相输运

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:joycev
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
对以热力学为基础的理论考虑做了进一步的研究,并与由镓的输运所获得的实验结果进行比较。讨论了镓的输运速率作为反应温度、氢气流量和 Cl/H 的克分子比的函数关系。在理论和实验结果之间显示了良好的一致性。本文还用理论验证鲁塞和罗克塞卡的实验结果并表明理论值是镓的输运速率的上限。 Further theoretical studies based on thermodynamics have been made and compared with the experimental results obtained from the transport of gallium. The transport rate of gallium is discussed as a function of reaction temperature, hydrogen flow, and molar ratio Cl / H. There is good agreement between the theoretical and experimental results. In this paper, we also validate the experimental results of Ruse and Roxyca by theory and show that the theoretical value is the upper limit of gallium transport rate.
其他文献
“每个人都是一座宝藏,需要我们认真去挖掘,每个人都是一个品牌,需要自己认真去打造。人生的道路弯弯曲曲,添路希望用‘激情、感恩、分享’感染大学生们,成为一片沃土,让每棵
用硅烷(S_iH_4)的高频辉光放电制备的无定形硅制作了P—i—n结构视象管靶,在光敏层和涂有透明导电极(SnO_2:Sb)的基片之间有一薄层掺磷的n型无定形硅,它阻挡了空穴的注入,对
爸爸的大帽子@张伯芝 Dad’s big hat!
期刊
科学、工业和军事对物理量测量的准确度的要求不断提高。因此,标准及测量装置必须满足日益提高的指标。图1充分说明了这种趋向。它指出美帝频标准确度在四十年间的增进情况
第1期极性晶体中激子的性质················································……梁希侠顾世消(1)掺T亡刊3aAs单晶微缺
在盆栽条件下,研究了二种有机肥和五种无机肥对淹水稻上产甲烷细菌数量和甲烷释放量的影响。结果表明有机肥对产甲烷菌数量和甲烷释放量均有较大的促进作用,其中以绿肥最为显著
据报导,美帝贝尔实验室研究了一种可靠性高而且价格低廉的塑料晶体管管壳,此种管壳已大量生产。采用这种管壳的晶体管,在125℃(正常工作结温)的平均失效时间为10~8小时。平
She was dancing. My crippled grandmother was dancing. I stood in the living room doorway absolutely stunned.  她在跳舞。我那身有残疾的祖母居然在跳舞。我站在客厅的门口,被彻底惊呆了。  I looked at how her still-lean body bent beautifully
鸡西矿业集团公司张辰煤矿西三采区3
期刊
《光明日报》消息,大型文化情感类节目《朗读者》在中央电视台播出后,各方好评不断。在2月18日第一期节目播出后,该节目在豆瓣上的评分就已经高达9.0分,在新浪微博热门话题榜上连续两小时排名第一。  《朗读者》采用“明星結合素人”的嘉宾阵容,既有著名作家麥家、企业家柳传志等人们熟悉的名人,也有来自四川金堂县的周小林、殷洁夫妻俩这样的普通百姓。节目将他们的人生故事与文学佳作相结合,用最平实的情感读出文字