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基于快速热退火量子阱无序技术的新型半导体激光器
基于快速热退火量子阱无序技术的新型半导体激光器
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:alenhrp1
【摘 要】
:
本文首先研究了GaAlAs/GaAs多量子阱材料在不同快速热退火(RTA)的条件下的量子阱无序,然后利用该技术研制了两种具有新颖结构的半导体激光器,一种是克服端面损伤的有窗口结构的半导体激光器,实验
【作 者】
:
姜艾庆
郝智彪
【机 构】
:
清华大学电子工程系
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1999年7期
【关键词】
:
半导体激光器
RTA
量子阱无序技术
【基金项目】
:
国家自然科学基金杰出青年基金,国家“863”高技术计划
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本文首先研究了GaAlAs/GaAs多量子阱材料在不同快速热退火(RTA)的条件下的量子阱无序,然后利用该技术研制了两种具有新颖结构的半导体激光器,一种是克服端面损伤的有窗口结构的半导体激光器,实验测得最大输出光功率比无窗口结构器件平均增加约18%。
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