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Cu2 ZnSnS4（CZTS）薄膜由于其合适的禁带宽度、高的光吸收系数以及组分无毒、储量丰富等特性，被视为薄膜太阳能电池最佳的吸收层材料之一。磁控溅射是制备CZTS薄膜的主要方法之一，因为其制备过程相对简单且可以产业化，一直是太阳能电池领域的研究热点。从磁控溅射制备 CZTS薄膜的3种路径出发，综述了近年来各种路径在制备CZTS薄膜方面的研究进展，比较了3种路径的优缺点，同时对磁控溅射制备 CZTS 薄膜的发展前景进行了展望。