【摘 要】
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针对光刻投影物镜中动镜X-Y向调节机构精度高、行程小、结构紧凑的需求,提出了一种X-Y向一体式调节机构.所提机构基于四连杆调节原理,利用内外圈独立分布的X-Y向柔性铰链,无需解耦即可实现X/Y向高精度调节.首先根据投影物镜中动镜的调节精度和行程,完成所提机构的结构设计;然后运用有限元分析法仿真分析所提X-Y向柔性调节机构的性能.分析结果表明:所提机构调节行程大于±20 μm,X向、Y向的刚度值分别为0.542 μm/N、0.671 μm/N;单X、Y向开环驱动时,垂直方向耦合误差与主方向移动量之比分别为6
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610209;中国科学院大学,北京100049;中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610209
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针对光刻投影物镜中动镜X-Y向调节机构精度高、行程小、结构紧凑的需求,提出了一种X-Y向一体式调节机构.所提机构基于四连杆调节原理,利用内外圈独立分布的X-Y向柔性铰链,无需解耦即可实现X/Y向高精度调节.首先根据投影物镜中动镜的调节精度和行程,完成所提机构的结构设计;然后运用有限元分析法仿真分析所提X-Y向柔性调节机构的性能.分析结果表明:所提机构调节行程大于±20 μm,X向、Y向的刚度值分别为0.542 μm/N、0.671 μm/N;单X、Y向开环驱动时,垂直方向耦合误差与主方向移动量之比分别为6.86％、4％;模态大于100 Hz.最后,对所提调节机构进行了性能测试实验,X向重复定位精度为36.3 nm,Y向为41.7 nm;调节过程中,角度偏移小于0.5″.实验结果表明,所提柔性调节机构能够满足光刻投影物镜像质补偿对X-Y向高精度调节要求.
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