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傅里叶变换红外（FTIR）光谱仪在环境和大气污染气体成分检测中起着非常重要的作用，其核心光学部件是迈克尔逊干涉仪。为实现干涉仪的平稳运动，保证光机扫描的稳定性和重复性，提出一种基于ATMEL89C52单片机的伺服控制系统，在激光干涉信号和白光干涉信号的配合下，通过PID控制，系统实现了比较匀速的扫描速度控制和精确的位置控制，满足光谱仪对干涉仪的运动要求。