【摘 要】
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类金刚石（DLC）薄膜在红外区有很高的透过率,但激光损伤阈值低,严重限制了其应用领域.采用直接在DLC 薄膜上沉积Ti电极,基于激光损伤阈值（LIDT）测试平台,用1-on-1零几率损伤法,研
【机 构】
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西安工业大学光电工程学院,西北工业集团有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61205155,61378050）,科技部国际合作项目资助（2013DFR70620）,陕西省教育厅科技项目（2013JK0632）,陕西省科学技术研究发展计划项目（2013KW06）
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类金刚石（DLC）薄膜在红外区有很高的透过率,但激光损伤阈值低,严重限制了其应用领域.采用直接在DLC 薄膜上沉积Ti电极,基于激光损伤阈值（LIDT）测试平台,用1-on-1零几率损伤法,研究了在不同偏置电场下DLC 薄膜损伤阈值及损伤形貌的变化.发现电场强度从0增加到700V/cm,损伤阈值明显增大;进-步增大偏置电场,损伤阈值相对不变.分析认为偏置电场改变了激光辐照DLC 薄膜区域的光生载流子漂移速度,减小了DLC 薄膜的局部热累积,减缓了薄膜的石墨化进程,提高了DLC 薄膜的抗激光损伤阈值.
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