【摘 要】
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根据非接触式静电电压测量仪的工作原理,建立了一套非接触式静电电压测量仪校准系统.重点介绍了校准系统的组成和工作过程,以及决定校准系统测量准确度关键因素的标准平板电极的设计原则,并通过实验数据分析了标准平板电极的直径和边缘效应对测量结果的影响.最后以常用的非接触式静电电压测量仪EST101为例,根据校准装置测量不确定度主要来源,对校准结果进行不确定度分析,验证了此套校准系统满足校准要求.
【机 构】
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北京振兴计量测试研究所,100074;北京控制与电子技术研究所,北京100038
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根据非接触式静电电压测量仪的工作原理,建立了一套非接触式静电电压测量仪校准系统.重点介绍了校准系统的组成和工作过程,以及决定校准系统测量准确度关键因素的标准平板电极的设计原则,并通过实验数据分析了标准平板电极的直径和边缘效应对测量结果的影响.最后以常用的非接触式静电电压测量仪EST101为例,根据校准装置测量不确定度主要来源,对校准结果进行不确定度分析,验证了此套校准系统满足校准要求.
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