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利用X射线光电子谱仪（XPS）分析和Ar^+刻蚀相结合的方法，分析了Ti膜表面的化学元素及相应原子的电子结合能。分析结果表明：Ti膜及膜材料样品表面有大量的C、O元素；膜表面存在从衬底扩散至Ti膜的Mo元素。对样品刻蚀后Ti2p的XPS谱进行拟合表明：Ti膜表面的Ti由TiO2（约100％）和单质Ti组成，随刻蚀时间的增加，部分TiO2还原至低价Ti；薄的薄膜表面中的Mo由单质Mo和MoO3组成，而厚的薄膜以单质Mo为主；表面C由石墨态和结合能为288．2－288．9eV的碳化物组成。