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前言随着微电子技术突飞猛进的发展，90纳米线宽技术已得到了规模推广，一个芯片已集成至几十到上百亿个元器件。与此同时，图形的微细加工和以提高生产效率为目的的大直径硅片生产进程也在加快进行，电路特征尺寸已由微米级升级到亚微米及纳米级水平，这使得所有的IC造商对衬底硅片的要求越来越严格。
包装材料对硅片表面洁净度的影响
【摘 要】
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前言随着微电子技术突飞猛进的发展，90纳米线宽技术已得到了规模推广，一个芯片已集成至几十到上百亿个元器件。与此同时，图形的微细加工和以提高生产效率为目的的大直径硅片生产
【机 构】
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有研半导体材料股份有限公司
【出 处】
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世界有色金属
【发表日期】
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2007年7期
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