长寿命高稳定度液态金属离子源

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本文介绍一种用多孔W筒作料池的同轴针型液态金属Ga和Au离子源。料池内Ga和Au的贮量分别为200mg和150mg,具有低蒸发、长寿命的优点。由于液态金属与W针尖及多孔W料池内壁都能良好浸润,因而流阻低,电流稳定性好。在总离子发射电流10μA时Ga的离子流稳定度和5μA时Au源的稳定度都可达到±1.5%/h,连续寿命试验分别超过500h和150h,故已具有实用价值。本文还讨论了影响稳定性的诸因素。 This article describes a coaxial needle-type liquid metal Ga and Au ion source using a porous W tube as a reservoir. The reserves of Ga and Au in the material pool are respectively 200mg and 150mg, which has the advantages of low evaporation and long life. As the liquid metal and W tip and porous W pool wall can be well infiltration, so the flow resistance is low, the current stability. When the total ion emission current of 10μA Ga ion current stability and 5μA Au source stability can reach ± ​​1.5% / h, the continuous life test were more than 500h and 150h, it has practical value. This article also discusses the factors that affect stability.
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