【摘 要】
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本文报导了采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备 SnO_2/Fe_2O_3多层薄膜气体敏感材料及敏感元件的性质。所研制的多层薄膜在保持对乙醇有较高的灵敏度及较好的响应
【机 构】
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吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系,吉林大学电子科学系,
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本文报导了采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备 SnO_2/Fe_2O_3多层薄膜气体敏感材料及敏感元件的性质。所研制的多层薄膜在保持对乙醇有较高的灵敏度及较好的响应恢复时间的同时,其稳定件较单层膜有明显地改善。乙醇和汽油的分离倍数达10左右,对其它气体分离倍数更高。研究表明所制备的 SnO_2/Fe_2O_3薄膜材料可用于开发新型气敏元件。
In this paper, the properties of gas sensitive materials and sensitive elements for SnO_2 / Fe_2O_3 multilayers prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) are reported. The developed multi-layer thin film in the ethanol to maintain a higher sensitivity and better response recovery time at the same time, the stability of the monolayer film significantly improved. Ethanol and gasoline separation factor of about 10, the higher the separation factor for other gases. Studies have shown that the prepared SnO 2 / Fe 2 O 3 thin film material can be used to develop a new type of gas sensor.
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