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从分析旋转切割的原理出发，通过对旋转切割和直线进给切割两种方法的对比，介绍了一种经济实用的晶片加工方法。
晶体的旋转切割
【摘 要】
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从分析旋转切割的原理出发，通过对旋转切割和直线进给切割两种方法的对比，介绍了一种经济实用的晶片加工方法。
【机 构】
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信息产业部电子第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1999年4期
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