立方相Al_xGa_(1-x)N/GaAs(100)的光致发光研究

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本文通过光致发光( P L)测试发现了 N H3 流量的大小对以 Ga As(100)为衬底生长立方相 Alx Ga1- x N 晶体性质的影响的规律, N H3 流量愈少,立方相 Al Ga N 的纯度愈高,而且,其发光峰的位置向短波长方向移动.在同一样品中, N H3 气流的下游的晶体纯度高于上游,而且其发光峰的位置向短波长方向移动.选择合适的生长条件,制备出纯度较高的立方相 Alx Ga1- x N 晶体,并对实验结果进行了简单的讨论
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